供 微波等离子体材料处理装置

应用：
材料表面改性
医疗器材表面灭菌消毒
表面清洗，如PCB、FPC、电子元件等

产品特性：
本品采用直接微波等离子体（Remote Microwave Plasma），等离子体产生效率高，样品处理均匀；
由微波系统、等离子体发生室、样品处理室、气路系统、真空系统和循环水冷却系统组成；
样品处理室ф262（内径）×165（高），容积35.58L。左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф50观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120（直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。 样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放。                                                    
等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。
2～4路气体输入由反应室内顶部（样品台上方）呈环形均流输入。可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体。流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC；
可长时间连续工作，配循环水冷系统，环保经济；
常规采用机械真空泵，可选配扩散泵与涡轮分子泵；