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热场材料创新中心
热场材料是半导体产业关键基础材料之一，在单晶硅生长、多晶硅生长、碳化硅单晶生长、半导体外延生长等环节发挥重要作用，其中的高端产品至今仍为美、日、德等国外企业所垄断。甬江实验室热场材料创新中心致力于解决热场材料材料 “卡脖子”问题，近期聚焦碳化硅涂层材料（用于外延）、碳化钽涂层材料（用于碳化硅单晶生长）和整体碳化硅材料（用于刻蚀）等的基础科学问题和应用研究。
中心通过研发解决了碳化硅涂层材料易于剥落、寿命不足的问题，相关产品性能已比肩国际领先水平，通过国内知名半导体厂商的认证并形成小规模销售。中心同步研发了碳化钽涂层材料和整体碳化硅材料样品，均属突破国外卡脖子的芯片加工关键部件，已分别送样给下游客户进行验证。
材料科学,生物医用 500万以上
化学化工
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材料科学,化学化工 面议
